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采用DI-O?与稀释氢氟酸(DHF)交替喷淋,室温下快速氧化-蚀刻,避免批次交叉污染……
其次,摸索出了碳化硅光、蚀加工的大量实践经验……
旋转涂覆光刻胶500rpm,厚度1.5μm;
90°C前烘15分钟;
汞灯曝光12秒;
NaOH溶液显影;
在改装反应离子刻蚀机中通入CF?(40sccm)+O?(4sccm);
施加200W射频功率,腔压50mTorr;
刻蚀速率仅30nm分钟……
一切犹如神助之下,仅用九天时间就完成了全部光、蚀阶段。
在扩散掺杂和蒸镀电极阶段开始前,曲卓被一众关心他的人一再要求,给项目组放了两天假。
说是怕他累坏了,实际上是有一堆事需要他从实验室出来处理。
戴英通用电气和ASM已经做好了新的方案,请等着开启新一轮谈判呢……
剑桥没抗住压力,主要是资金压力太大,在戴英皇家学会的主持下,联合牛津、帝国理工、伦敦大学和克兰菲尔德大学,共同推进人工智能项目。
暂时还只是意向,需要和曲卓深入的谈一谈,以确定人工智能的应用前景和项目投入……
除了英国佬,高卢人也很急,一再要求咱们的大使帮忙牵线……
汤姆逊公司上周就派人去阿美莉卡,找史蒂夫谈BEICS系列微控芯片的授权。
眼下虽然还没正式签约,但谈判已经大致有了结果,就迫不及待的想跟曲卓谈谈延伸型号的开发问题。
另外,高卢人向东大国科院提出,派遣计算机专业高级进修生,方向是集成电路设计、软件开发及程序语言。
近朱者赤近墨者黑嘛,有北棒棒的经验在前,国科院的某些人眼珠子里瞬间泛起小钱钱的虚影。
同时,又有点心虚。
高卢可不是棒棒,要是培养不好,再砸了好容易竖起来的招牌。
于是,一番商量后回复高卢人:今年几个高级人才培训单位,招生计划排的特别满。再多,就无法保证培训质量了。
要不,你们跟小曲谈一谈吧,看看他负责的国科大专项人才培训基地,能不能接收一下……
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