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5月31日下午,星源科技光学研发中心。
此时虽值假期,但负责照明系统攻坚任务的上百名研发工程师,却大多都在实验台前忙碌着。
“面形精度34皮米!”
“钼硅多层膜的表面粗糙度为46皮米!”
“光能利用率91%!”
“照明均匀性超过了98%!”
突然,测试组的一名年轻工程师大声喊道。
其他人闻声,不约而同地停下了手中工作。
“哈哈哈不积跬步,无以至千里;不积小流,无以成江海!林总,我没说错吧?这照明系统外国人能搞定,我们同样行!”
汪象朝眯起眼睛,仔细琢磨着这几组数据背后的意义。
这意味着华国半导体行业,首次掌握了完整的照明系统技术链。
一旦攻克投影物镜系统、掩膜版与掩膜台的核心技术,华国将拥有一套具备世界领先水平的反射式光学系统。
至此,距离自研EUV光刻机,已经差不多走完了三分之一的艰难路程。
这一切,还不是全靠.老板!
林南在心中暗暗思忖。
刘峰俊从庐州返回后,带回了一套工艺成熟的离子束抛光、磁流变抛光及磁控溅射技术方案。
与此同时,陈延森的科研天赋也在研发中心渐渐传开。
尽管起初大部分研究人员并不相信陈延森,但如今成果就摆在眼前,由不得他们不信。
更何况,还有刘峰俊这位当事人的佐证。
“汪工,技术文档咱们有了,但这制造任务该交给谁?是长春国科精密,还是沪城微电子装备?”
林南眉头微蹙,看向汪象朝问道。
“选沪城微电子吧,”汪象朝略一思索后说道:“他们的真空系统和抗污染技术,在国内是顶尖水平,能最大程度提升成像质量。”
汪象朝这辈子的精力都扑在了光学系统研发上,对华国超精密光学制造行业的情况极为熟悉。
林南点了点头,其实他心里也更倾向于沪城微电子。
当天晚上,一面镀上120层钼硅薄膜的非球面反射镜被送到了燕京。
华科协会的一众大佬倾巢而出,齐聚光电所的实验室。
有人站在一旁,神色复杂地望着这面直径高达0.6米的反射镜。
也有人迫不及待戴上无尘手套,小心翼翼地触碰了一下光滑的表面。
“现在全世界,能造出50皮米以下面形精度反射镜的公司只有三家,赛高、蔡司和星源。”
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