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沪城光机所的一名专家点头附和道:“以前我们不需要皮米级别的抛光精度,所以技术进展就慢,现在不一样了,只要搞定照明系统的非球面反射镜,这EUV光刻机的光学系统,就等于拿下了一半的核心技术。”
话虽如此,实验室里的气氛却没怎么缓和。
林南苦笑一声,指着桌上的检测报告:“道理都懂,可现实摆在这里,我们的仪器测试精度仅有亚纳米水准,面形精度够不够,压根不知道。”
这无异于闭着眼睛走路,方向对不对都不确定,怎么提升?
燕京光电所的年轻工程师语气哽咽,一脸绝望地小声呢喃道:“难道没有国外的技术支持,我们就造不出EUV光刻机的核心部件吗?”
这话就像一根钢针,把所有人的信心都给戳破了。
“放屁!人家花了几十年积累的技术,我们才用了几天?这点耐心都没有吗?”
汪象朝猛地站起身,大声反驳道:“一个月时间,我们就把照明系统的方案推演出来了,这说明思路是对的。
我已经和长春、燕京光机所的人沟通好了,接下来大家齐头并进:咱们先攻坚投影物镜系统,等抛光和镀膜技术达标后,再整合各项技术,总能把这块硬骨头啃下来。”
他的话像一剂强心针,让实验室里低迷的气氛稍稍回暖。
林南深吸一口气,跟着站起来说道:“汪老说得对,咱们先按照分工,集中精力攻投影物镜系统的光路设计。”
沪城光机所的专家立刻拿出图纸,指着上面复杂的光路结构:“投影物镜得把照明系统过来的光束精准聚焦到晶圆上,而且要消除各种像差,这对镜片的曲率精度要求比反射镜还高。
我们之前设计的光路,在模拟环境中还存在0.5弧秒的像差偏差,得再优化。”
汪象朝凑到图纸前补充道:“我查过资料,蔡司的投影物镜用了15片高精度镜片,每片的面形误差都控制在20皮米以内。
我们要是能把像差偏差降到0.2弧秒以下,后续工艺跟上,说不定就能赶上他们的水平。”
几人越聊越投入,当即围着图纸和电脑忙碌了起来。
汪象朝负责调整光路模拟参数,林南则带领几人核算镜片曲率与像差的对应关系,剩下的研发人员也连忙压下此前的负面情绪,将精力快速投入到各自的工作中。
……
……
次日一早,陈延森给陶静文打去电话,借助孟远志的关系,拿到了一张庐州科大的通行证,可自由进出光电实验室。
镜面抛光和镀膜工艺,都得在实验中不断完善,才能找到优化方向。
光靠理论推算,是得不出结果的。
同一时间,林南也抽调了一批擅长超精密抛光技术的研发人员,派往庐州。
当刘峰俊等人进入庐州科大的光电实验室时,刚好看见正在更换洁净服、佩戴无尘乳胶手套和无尘口罩的陈延森。
他不是森联资本的创始人吗?
为什么会在实验室里?
“刘先生,幸会!”陈延森停下手中的动作,径直朝刘峰俊走去,随即伸出右手说道。
“陈先生,您好。”刘峰俊虽然有一肚子的疑问,但他也不好直接发问。
他是国防科大超精密加工团队的高阶研究员,博士学历,智力不俗。
有这样的素养,就注定他不会说出低情商的话。
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