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“又卡壳了?”
陈延森看完林南的汇报邮件,眉心微蹙。
他没想到,自己都已经把大门踹开,为他们铺好了路,这帮人却还是没能力往前再走一步。
当前的难点有两方面:
第一,中继镜组中的非球面反射镜,需要将面形精度控制在50皮米以下,表面粗糙度得低于0.1纳米的均方根误差。
换句话说,这相当于要求一块徽安省大小的区域,整体起伏不能超过一张A4纸的厚度。
难度可想而知!
目前,全球仅有灯塔国的赛高、德国的蔡司具备相应水准的镜面抛光工艺。
可受到瓦森纳协定的限制,即便花钱买,也拿不到供货名额。
而哈工大、国防科大和华科协会长春光机所,尽管拥有离子束抛光与磁流变抛光技术,理论上能实现原子级的面形精度,但现实与理论往往存在巨大落差。
这就好比问,国内能造出F1赛车的发动机吗?
按理说,华国不缺能生产金属活塞和气缸的工厂,也清楚内燃机的制造原理。
但F1赛车发动机并非单一部件的简单组合,它是材料学、精密加工、热力学、电子控制系统等顶尖技术的集成体,且对转速、热效率和可靠性的参数标准达到了行业极致。
由此可见,技术原理懂了,要落地到稳定的实际生产中,仍有难以逾越的鸿沟。
明白是一回事,造出来又是另一回事。
第二,镜子打磨完成后,还得在表面镀上40到60对的钼、硅交替薄膜层,且每层厚度的误差都需控制在原子级别。
镀膜环节所需的磁控溅射技术,国内虽有不少研究所已掌握,但在均匀度和精细度上,仍然不符合EUV光刻机的使用需求。
此外,如何精准检测镜面光滑度也是个难题。
没有测量,就没有加工!
检测能力决定了抛光水平的天花板。
2014年华国在高精度干涉仪领域,特别是用于EUV波段的检测设备和技术,根本达不到50皮米的测量精度。
而林南和汪象朝等上百位研发工程师,已是光学赛道的佼佼者,连他们都搞不定的事,再找其他人,大概率也无济于事。
他们尽力了,只是能力有限。
陈延森心里清楚,他要是不出手,这场科研大会战多半要成为一个笑话。
他略一思索,便让林南先把离子束抛光、磁流变抛光和磁控溅射的技术文档发过来。
与此同时。
沪城,星源科技光学研发中心。
林南倚在实验台前,双眼满是红血丝,神色黯淡。
汪象朝坐在一旁,拍了拍林南的肩膀说道:“别着急,车到山前必有路,慢慢啃呗,既然方案都有了,还怕搞不定工艺问题?”
沪城光机所的一名专家点头附和道:“以前我们不需要皮米级别的抛光精度,所以技术进展就慢,现在不一样了,只要搞定照明系统的非球面反射镜,这EUV光刻机的光学系统,就等于拿下了一半的核心技术。”
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